扫描电镜
分辨率
5nm (30kV, SE Image)
放大倍率
30x~150,000x
加速电压
1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV)
图像检测
二次电子图像、背散射电子图像(选配)
灯丝类型
预对中钨灯丝
偏压系统
自动偏压方式
电子枪校正
手动方式
聚光镜
2 段式磁线圈透镜
物镜
1 段式磁线圈透镜
探测器类型
SE Detector/ BSE Detector
载物台移动
5 轴操控，X, Y-axis @ 35mm ； R-axis @ 360°；Z @ 0~22mm ； Tilt-axis @ 0~45°
样品最大尺寸
高度 35mm 时最大直径 80mm
体积
460(W)×600(D)×950(H)mm
重量
105kg
温度
15℃~30℃
湿度
70% or less
电源
Single phase 220V AC, 1KW, 50/60Hz
