共聚焦显微镜
测量原理
转盘共聚焦光学系统
显微物镜
10X，20X，50X，100X
视场范围
120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量 重复性*1(1σ)
12nm
高度测量 精度*1
±(0.2+L/100) μm
高度测量 显示分辨率
0.5nm
宽度测量 重复性*2(1σ)mm
40nm
宽度测量 精度*2
± 2%
宽度测量 显示分辨率
1nm
XY 位移平台 尺寸
200 mm×200 mm
XY 位移平台 移动范围
100 mm×100 mm
XY 位移平台 负载
10kg
XY 位移平台 控制方式
电动
Z0 轴扫描范围
10 mm
Z 向移动范围
100 mm
物镜塔台
5孔电动
光源
白光 LED
外形尺寸
520 mm×380 mm×600 mm（最大工作高度 700 mm）
总重量
50kg
电源
100-240V AC，50/60Hz，2A 功率 300W
工作温度
温度 15~30℃，温度梯度 < 2℃/60 分钟
相对湿度
5%~95%RH，无凝露
环境振动
VC-C 或更优
其他工作环境
无强磁场，无腐蚀气体
