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中高精度气浮自平衡光学平台(DL-GJQF2系列)
产品型号:DL-GJQF2-1208-10
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中高精度气浮自平衡光学平台(DL-GJQF2系列)
台面尺寸(mm)
1200×800×100
台面平面度(mm/m²)
0.1
平台高度(mm)
800
垂直方向固有频率
2~3Hz
最大载荷(kg)
800
水平方向固有频率
2~3Hz
隔振方式
气浮隔振
最大动挠度系数
1.1×10―³~3.5×10―³
充气压力
最大0.6Mpa
最大相对位移(nm)
0.22~0.70