DL-DLQN-5015-30-V1.0.pdf
DL-DLQN-5015-30-V1.0.dwg
DL-DLQN-5015-30-V1.0.STEP
独立气囊非自平衡光学平台（DL-DLQN系列）
台面尺寸（mm）
5000×1500×300
台面平面度（mm/m²）
0.1
平台高度（mm）
850
最大使用压力（Kg）
4.5
最大载荷(kg)
800
固有频率
2～3Hz
隔振方式
气浮隔振
最大动挠度系数
1.1×10―³～3.5×10―³
充气压力
最大0.6Mpa
最大相对位移（nm）
0.22～0.70
