产品规格书 v1.0.pdf
Nano care1光学3D表面轮廓仪
光源
白光 LED
影像系统
1024x1024
干涉物镜
10X（2.5X，5X，20 X，50X，100X）
光学ZOOM
0.5X（0.75X，1X）
标准视场
0.98×0.98 mm
最大视场
6×6 mm
物镜塔台
3孔手动（5孔电动可选）
XY 位移平台尺寸
320×200 mm
XY 位移平台移动范围
140×100 mm
XY 位移平台负载
10kg
XY 位移平台控制方式
电动
水平调整
±5 °
Z轴聚焦行程
100 mm
Z轴聚焦控制方式
电动
Z 向扫描范围
10 mm
Z 向分辨率
0.1nm
可测样品反射率
0.05%~100%
粗糙度 RMS重复性
0.005nm
台阶测量准确度
0.3%
台阶测量重复性
0.08% 1σ
仪器尺寸（长×宽×高）
主机 900mm ×700mm ×604mm
仪器主机重量
小于 150Kg
