DL-GJQF1-6015-30-V1.0.pdf
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DL-GJQF1-6015-30-V1.0.STEP
高精度气浮自平衡光学平台（DL-GJQF1系列）
台面尺寸（mm）
6000×1500×300
台面平面度（mm/m²）
0.1
平台高度（mm）
850
垂直方向固有频率
空载 1～1.7Hz 满载 0.8Hz
最大载荷(kg)
3000
水平方向固有频率
空载 1.1～1.7Hz 满载 1.0Hz
隔振方式
气浮隔振
最大动挠度系数
1.1×10―³～3.5×10―³
充气压力
最大0.6Mpa
最大相对位移（nm）
0.22～0.70
