产品说明书 v1.0.pdf
FUTURE自动光纤端面5D干涉仪
曲率半径
3~Flat mm
顶点偏移
0~250um
光纤高度
-1000~1000nm
角度
0~12°
测量速度（不含自动对焦）
1s（端面）、1.5s（干涉）、2s（干涉+端面）
分辨率
0.29um
连接方式
USB3.0
电源电压
DC 24V
体积
283mm X150mm X108mm
