原子力显微镜
样品尺寸
直径≤40mm,厚度≤15mm@样品扫描/直径≤100mm,厚度≤15mm@探针扫描
样品重量
≤100g@样品扫描/≤300g@探针扫描
样品台移动范围
5×5mm
定位精度
分辨率5μm/灵敏度2μm
扫描范围
100×100×10μm、3×3×2.6μm@样品扫描/100×100×10μm、50×50×5μm@探针扫描
非线性度，XY（带有闭环传感器）
≤0.1%@样品扫描/≤0.15%@探针扫描
噪声水平，Z（RMS in 1000Hz）
带传感器0.04nm（典型值），≤0.06nm；不带传感器0.03nm@样品扫描/带传感器0.06nm（典型值），≤0.07nm；不带传感器0.05nm@探针扫描
噪声水平，XY（RMS in 200Hz）
带传感器0.2nm（典型值），≤0.3nm（XY 100μm）；不带传感器0.02nm（XY 100μm），0.001nm（XY 3μm）@样品扫描/带传感器0.1nm（典型值），≤0.2nm（XY 50μm）；不带传感器0.01nm（XY 50μm）@探针扫描
线性度评价误差（带传感器）
±0.5%@样品扫描/±1.2%@探针扫描
光学分辨率
1μm@样品扫描/3μm@探针扫描
光学视场
4.5-0.4mm@样品扫描/2.0-0.4mm@探针扫描
连续变焦
是
