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概述
参数规格
用户反馈
  •        Dimension-Labs提供的DL-SEM-150系列台式扫描电镜具有体型小巧、操作方便等特点。放大倍率30X~150,000X,图像景深高,立体感强,分辨率5nm。载物台5轴操控(倾斜功能),配备四级可变光阑(30,50,50,100μm),采用二次电子和背散电子双重探测器,通过调整电子束大小可提供高分辨率图像。可自动变焦,自动调整对比度和亮度,并且可调整电子束尺寸、消像散。样品舱大,可进行多种样品分析,可选配EDS、BSE,马达操控载物台等多种配件。通过选配EDS进行元素成份分析,DL-SEM-150系列扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护。

  • 性能

    分辨率

    5nm (30kV, SE Image)

    放大倍率

    30~150,000 X

    加速电压

    1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

    图像检测

    二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

    背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

    * Multi Detector (SE+BSE)

    观察模式

    Standard Mode

    Charge-up reduction mode

    电子枪系统

    灯丝类型

    预对中钨灯丝

    偏压系统

    自动偏压方式

    电子枪校正

    手动方式

    透镜构成

    聚光镜

    2段式磁线圈透镜

    物镜

    1段式磁线圈透镜

    探测器类型

    SE Detector/ BSE Detector

    载物台系统

    自动或者手动

    载物台移动

    3轴手动或自动操控

    图像偏移

    Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

    样品尺寸

    高度40mm时直径80mm

    图像扫描

    快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

    低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

    图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

    图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

    图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

    自动功能

    自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节

    图像存储格式

    BMP, JPEG, PNG,TIFF

    数据显示

    放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

    真空系统

    高真空模式

    (旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min

    (涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

    抽真空时间:3分钟以内

    操控系统

    鼠标和键盘

    PC:台式电脑(Desk Top)

    OS : Microsoft Windows 7

    CPU : Intel CoreTM i5 or High version

    Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

    USB 2.0

    软件

    图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等

    体积

    设备主机-410(W)×660(D)×600(H)m

    控制主机:410(W)×290(D)×520(H)mmm

    外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm

    重量

    105kg

    设备环境

    温度:15℃~30℃

    湿度:70% or less

    电源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz


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      预对中钨灯丝
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      自动偏压方式
      电子枪校正
      手动方式
      聚光镜
      2 段式磁线圈透镜
      物镜
      1 段式磁线圈透镜
      探测器类型
      SE Detector/ BSE Detector
      载物台移动
      5 轴操控,X, Y-axis @ 35mm ; R-axis @ 360°;Z @ 0~22mm ; Tilt-axis @ 0~45°
      样品最大尺寸
      高度 35mm 时最大直径 80mm
      体积
      460(W)×600(D)×950(H)mm
      重量
      105kg
      温度
      15℃~30℃
      湿度
      70% or less
      电源
      Single phase 220V AC, 1KW, 50/60Hz
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