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Nano care1光学3D表面轮廓仪
概述
用户反馈

  • Nano care 1 白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。


    主要优势

    • 高稳定性测量：采用光学干涉技术非接触、高稳定、高速测量； 

    • 高精度测量：光学分辨率可达0.4um；

    • 大面积测量：自动缝合技术实现大面积高精度测量；

    • 独有的特殊光源模式：可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量

    • 测量参数涵盖面广：对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析；

    • 软件功能完备：一体化操作的测量与分析软件，自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等；

    • 适用范围宽：可测量多种类型样品的表面微细结构；

    • 性价比优良：真正意义的免维护及优良的性能价格比。


    主要应用

    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

    • 光学器件表面、光学加工

    • 半导体制造及封装工艺检测           

    • MEMS器件等超精密加工行业

    • 3C电子玻璃屏及其精密配件

    • 微纳材料及制造

    • 科研院所

    • 测量各类从超光滑到粗糙、从低反射率到高反射率的物体表面、从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


    光学元器件 . 曲率&轮廓尺寸 & 粗糙度 半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）
    （超精密）加工 . 轮廓尺寸 & 角度 表面工程（摩擦学）. 轮廓面积 & 体积
    3C 电子（玻璃屏）. 粗糙度 标准块 . 台阶高& 粗糙度


    样品测试报告

    光学玻璃镜片样品测试报告

    金属片表面摩擦磨损样品测试报告

    石英砂样品测试报告

    手机配件样品测试报告

    超光滑凹面样品测试报告

    薄膜粗糙度测试报告

    微光学器件样品测试报告

    微纳结构样品测试报告

    微透镜阵列样品测试报告


    光学规格表

    物镜倍率2.5X5X10X20X50X100X
    数值孔径0.0750.130.30.40.550.7
    光学分辨率@550nm（μm）3.72.10.920.690.50.4
    焦深（μm）48.616.23.041.710.90.56
    工作距离（μm）10.39.37.44.73.42.0

    视场HXV（μm）

    影像系统1024X1024

    0.5X

    0.75X

    1X

    3.84X3.84

    2.56X2.56

    1.92X1.9

    1.92X1.92

    1.28X1.28

    0.96X0.96

    0.96X0.96

    0.64X0.64

    0.48X0.48

    0.48X0.48

    0.32X0.32

    0.24X0.24

    0.192X0.192

    0.128X0.128

    0.096X0.096

    0.096X0.096

    0.064X0.064

    0.048X0.048


  • 全部
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      规格参数
      光源
      影像系统
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    • DL-Nano care1
      参数列表
      白光 LED
      1024×1024
      0.98×0.98 mm
      6×6mm
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      Nano care1光学3D表面轮廓仪
      光源
      白光 LED
      影像系统
      1024x1024
      干涉物镜
      10X（2.5X，5X，20 X，50X，100X）
      光学ZOOM
      0.5X（0.75X，1X）
      标准视场
      0.98×0.98 mm
      最大视场
      6×6 mm
      物镜塔台
      3孔手动（5孔电动可选）
      XY 位移平台尺寸
      320×200 mm
      XY 位移平台移动范围
      140×100 mm
      XY 位移平台负载
      10kg
      XY 位移平台控制方式
      电动
      水平调整
      ±5 °
      Z轴聚焦行程
      100 mm
      Z轴聚焦控制方式
      电动
      Z 向扫描范围
      10 mm
      Z 向分辨率
      0.1nm
      可测样品反射率
      0.05%~100%
      粗糙度 RMS重复性
      0.005nm
      台阶测量准确度
      0.3%
      台阶测量重复性
      0.08% 1σ
      仪器尺寸（长×宽×高）
      主机 900mm ×700mm ×604mm
      仪器主机重量
      小于 150Kg
    0
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