独立气囊非自平衡光学平台(DL-DLQN系列)
台面尺寸(mm)
900×600×50
台面平面度(mm/m²)
0.1
平台高度(mm)
800
最大使用压力(Kg)
4.5
最大载荷(kg)
200
固有频率
2~3Hz
隔振方式
气浮隔振
最大动挠度系数
1.1×10―³~3.5×10―³
充气压力
最大0.6Mpa
最大相对位移(nm)
0.22~0.70