普通光学平台(DL-PTPT系列)
台面尺寸(mm)
900×600×50
台面平面度(mm/m²)
0.1
平台高度(mm)
800
最大载荷(kg)
200
平台自重(kg)
180
最大动挠度系数
1.1×10―³~3.5×10―³
高度调节范围(mm)
±50
最大相对位移(nm)
0.22~0.70