高精度气浮自平衡光学平台(DL-GJQF1系列)
台面尺寸(mm)
900×600×50
台面平面度(mm/m²)
0.1
平台高度(mm)
800
垂直方向固有频率
空载 1~1.7Hz 满载 0.8Hz
最大载荷(kg)
200
水平方向固有频率
空载 1.1~1.7Hz 满载 1.0Hz
隔振方式
气浮隔振
最大动挠度系数
1.1×10―³~3.5×10―³
充气压力
最大0.6Mpa
最大相对位移(nm)
0.22~0.70